仪器测试功能：
材料样品表面的元素成分、化学价态以及相对含量，元素及化学态的面分布以及深度分布信息。
仪器主要技术参数：
1、X射线能量:1486.6 eV；
2、能量分辨率:0.45eV；
3、X射线灵敏度:2.5 Mcps@1.0eV；
4、并行化学态成像空间分辨率:3um。
仪器主要应用领域：
1、样品微区(>20um)表面成分分析，高能量分辨的化学态分析；
2、深度剖析XPS，结合离子刻蚀技术对样品(如薄膜等)进行成分深度分布分析；
3、XPS成像，可以对元素或化学态进行表面面分布分析。
