仪器测试功能：
进行材料的表面微观形貌、内部组织结构和元素组成及分布等分析。
仪器主要技术参数：
1、分辨率：3.0 nm (30 kV)；
2、放大倍数：5～100000倍；
3、低真空模式气压：270 Pa (Max)；
4、元素分析范围：Be4～U92。
仪器主要应用领域：
材料形态、尺寸等微观结构分析。
此仪器技术优势：
1、拥有低真空模式，可进行部分生物样品的原生态观察，不至于失真；
2、能谱软件包含Particle Analysis功能，可结合背散射电子信号进行颗粒物自动检测，适用于煤化工行业、选矿、雾霾、枪击物检测应用。
